由于一般液氩汽化后未经过纯化处理，它的氧含量一般在2ppm~5ppm。有时气体供应商提供的氩气超过了此范围，但使用氩气的客户确不知道其质量，所以往往给生产产品质量造成影响。有了氩气纯化装置后不论氩原料气的质量如何，只要经过纯化装置的处理后，进入拉晶炉的氩气，纯度始终是恒定的。一般 O2＜1ppm,水分＜2ppm，这样稳定的氩气对生产晶体质量是有保证的。

全自动氩气净化系统新型氩气纯化装置作为新材料或其他惰性保护性气体，我们推荐使用直接脱氧法（以纯气中残留氧，水，总碳，粉尘颗粒为考核指标）

全自动氩气净化系统新型氩气纯化装置本装置优点：

1，设备操作形式全自动程序控制，人性化设置一键式手动再生按钮，可视纯气质量控制再生时间，避免无谓再生，杜绝浪费

2，本设备全新技改，采用内置加热模式，弃舍了原有设备臃肿的外形及大能耗，使其更节能，外形精巧，与同类产品对比，节能50%以上，更具经济性

3，采用新型工艺 采用锰系脱氧剂常温工作，使其成品气质量更优。耗材利用率明显提高，使其更换时间延至8年左右，减少支出，节能减负

4，本装置具有原位再生功能，取微量纯气成品气配以高纯氢气再生，无需任何外接气源或辅助气源

5，设备在出厂前已完成活化工艺，长时间运行无需检修，在电，气，水正常状态下，设备全智能化程序运行，无需值守，

6，智能化：系统运行时间，故障报警，异常报警，运行轨迹等数据采集集成显示于面板触摸屏，气体纯度分析仪嵌入式安装于设备正面，直观，安全，PLC具备485信号源或模拟信号输出，联机可完成远程控制

7，控制阀门选自德国宝德，1000万次的开启寿命，无限使用零维护

8，汽化器后设置双回路减压系统，工作压力始终如一，安全稳定

全自动氩气净化系统新型氩气纯化装置自动氩气纯化设备概述

A, 本方案按用户提供参数定制：

 1、组成简介

 纯化设备工艺由高效脱氧剂、进口分子筛、精密过滤器、再生冷却器、汽水分离器等组成。

 设备运行由PLC控制电磁阀、气动阀、变送器等低压电器运行。所有电器均选用知名品牌，并加有出口低压旁路报警，保证供气点无间断工作。

2，工作原理简介

   原料普通氩气由设备工作进口阀、流量计进入设备工作组，工作组利用高效脱氧剂、分子筛、精密过、滤器对原料氩气中的微量氧、水汽、尘埃、二氧化碳、甲烷、等杂质进行反应、吸附、过滤达到纯化氩气的目的。设备设有两组工作组，一用一备。当一组工作负荷饱和后切换到另一组工作，处理饱和一组的工作组。这样就可以连续的输出纯净的气体供工作点使用。

3，全自动氩气净化系统新型氩气纯化装置再生简介

设备工作脱氧塔与干燥吸附塔所装耗材不是短暂的消耗品（吸附饱和后程序自动或手动切换再生，可以反复激活再生一千次以上），所以设备工作方式采用复流程，由两组工作组组成。当一组工作组填装料吸附饱和，装填料已经无法对原料氩气进行提纯时，就需要对它进行处理，我们把这个处理的过程称做再生。再生过程是在对工作组加温、吹扫、加氢、冷却、保压的过程，并且是在常压下完成的。由于工作点是不间断的使用高纯氩气，所以在设备再生的时候切换至另一组工作组工作。此过程可以自动或在手动切换

 B、主要技术指标  

1． 处理气量                       ≥200Nm3/h                 

2． 工作压力                       ≤0.8Mpa                 

3． 原氩纯度                       ＞99.99% （氧含量≤15ppm）                          

4． 纯化后指标 纯化后符合并高于《GBT4842-2006氩标准》中高纯氩的要求           

                              氧气  ≤0.5ppm                 

                              露点 ≤-76℃  

                              总碳 ≤0.5ppm 

                              尘埃 ≤3.5颗/升  粒径≤0.1μm（100级）

5． 除氧器工作温度                   常温                    

6． 除氧器再生温度                   350℃                   

7． 干燥器工作温度                   常温                    

8． 干燥器再生温度                   350℃                                     

9． 除氧器和干燥器工作周期           据原料气纯度而定                   

10．除氧器和干燥器再生加热时间       8h                       

11．装机功率                         28KW                    

12．电源                             380V 50HZ                     

13．设备重量                         约1200Kg                 

14．外形尺寸：宽×长×高mm          1500×2000×2200      

 C,自动氩气纯化装置概述

     氩气纯化装置是针对需要使用超高纯度氩气的客户而设计的。全自动氩气纯化装置，具有触摸面板一键式启动、停止工作，操作简单明了。装置工作设有两组工作组，交替工作，循环使用。其中一组工作，另一组再生冷却备用。工作组工作无需加热，为常温工作。对应面板触摸屏可查看设备组成硬件、操作简介、观察、监视工作组工作状态、再生组再生状态、工作组工作时间、切换时间、设备总工作时间、再生加氢及加热时间和报警信息状态。

装置工作为常温工作，压降小、脱氧程度深、碳水含量低，均可达到并高于GB高纯氩气标准。

D,自动氩气纯化装置优点

选材优良，氩气流经阀门，管道选用304材质,彻底解决气源重复污染，纯气流经    管路采用BA级，保证纯气的洁净如一。

严格的质量控制，在制作过程中，邀请需方作全过程跟踪督察。

进出口微氧分析仪在线监测，直观显示原料气体氧含量及纯化后的氧气含量。

纯气最终过滤系统100级精密镍管过滤器使其最终纯气颗粒小于0.1μ

加氢还原系统采用质量流量计控制，真正做到定时定量全自动运行。

一键式启动设备，工作状态实时显示，操作简单、安全、明了。