HALO 水分测定仪为用户提供了无以伦比的准确性、可靠性、响应速度，而且易于操作。HALO 水分测定仪采用了

TigerOptics 专利一个非常全面和经济的分析仪设计 ~（CRDS）光腔振荡衰减光谱微量气体定量分析。这个多功能分析仪，
只需一台设备,允许用户测量惰性气体，腐蚀性和有毒气体中的水分。用户无需间接周期传感器的维护程序，无需量程校
正，无需净化器更换和无需泵重建。HALO-H2O-RP 不同于HALO-H2O，它集成了一个上游压力控制器，允许在应用程
序中，样品压力范围从50 托 - 15psig 的操作。这些应用程包括半导体晶圆处理、废气排出气体监测。

运作范围：0-20 ppm 测量下限：2 ppb 外形尺寸（高x 宽x 深）：8.75″ x 8.5″ x 22.5″
灵敏度: 1 ppb 重量: 15 千克（33 磅）
精度(取大值)：读数的±4%或±1ppb
响应速度: 95%的响应 少于3 分钟
环境温度：+10°C ~ +40°C
存储温度：-10°C ~ +50°C

所用材料: 316L 不锈钢（可选哈氏合金） 压力：50 torr -15 psig
接液部件: 10 Ra 流量：可达1,000 sccm
气体的连接：1/4” VCR 入气口及出气口 气体样本: 氨、砷化氢、膦、或惰性气体
泄漏测试：< 2×10-8 mbar?l/min 气体温度：低于60°C
警报指示灯: 用户设置 认证 : CE: LVD & EMC
电源电压: 90-240 VAC, 50/60 Hz 测量原理：（CRDS）光腔振荡衰减光谱
消耗功率：40W 以下 特许: 美国专利＃5528040, 其他专利申请中
输出信号：记录: 0-5 VDC / 4-20mA 隔离
通信: RS-232（可选无线）
用户界面：5.6“LCD 触摸屏, 10BaseT Ethernet,RS-232/422