主营:特气柜VCR接头Parker调压阀VMB/P阀组盘/箱FUJIKIN流量计PFA阀门接头组件
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1. 材质:SS316L不锈钢结构
2. 品牌:PARKER /FUJIKIN
3. 流量范围:15~300 SLPM
4. 尺寸:1/4至1/2in.
5. 连接方式:VCR,卡套连接
6. 不锈钢气体过滤
7. 超高纯直通型气体过滤器
8. 3纳米的粒子过滤能力确保了在最小压降下高流量
9. 去离子水清洗后,热氮气烘干,从而满足半导体工艺标准
10. 对大部分高纯半导体工艺气体具有优良的兼容性
11. 5Ra电解抛光表面防止内污染
供应定制VM
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供应PARK
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