富士金气体质量流量计T1000系列

具有高精度、快速响应、价格低廉、零漂低等特点。不仅满足半导体、微电子、玻璃镀膜、阳能电池等行业，还可以满足钢厂、电厂、石化等行业的要求。

规格参数

1.  多气体多量程（MG/MR）功能

2.  可在客户端简单打盾进行气体种类/流量变更，从10sccm至50slm

3.  高精度：±1%S.P.（100-25%），±0.25%F.S.(25%-2%)(精度保证范围15-35℃)

4.  再现性：±0.2% F.S.

5.  强耐腐蚀性

6.  输入输出信号:模拟（0-5VDC）/RS-485、Device Net

7.  全量程范围、响应速度快，≤1sec

8.  密封材质：金属密封/橡胶密封

9.  阀门种类：NO常开NC常闭型

10. 最大动作压力：400kPaG(Ar:500kPaG)

11. 耐压：1MPa

12. 使用温度：5-50℃

13. 金属密封外部泄漏率：1 x 10  -11  Pa·m3/sec He

14. 橡胶密封外部泄漏率：1 x 10  -7   Pa·m3/sec He

15. 材质：SS316L不锈钢

16. 接口方式：1/4vcr金属面密封连接，卡套连接