什么是FFU?
FFU(Fan Filter Unit)是风机和过滤器的组合，也可称为“自带风机的过滤设备”。FFU通常安装在洁净室的送风末端，一般放置在吊装的“干式”

垫片密封龙骨框架上。FFU上面部分为风机模块，下面部分为过滤器。根据洁净度的要求，过滤器可为不同等级的高效（HEPA）或超高效（ULP

A）过滤器，为洁净室提供洁净空气。风机模块除了要克服FFU下部高效过滤器的阻力，还要克服整个循环风所有通道部件的阻力，从而维持设定

的运行风速。FFU系统具有设计施工简便，风速调节灵活，洁净区易于变更等特点，因此已成为工业洁净室的流行系统形式之一。

FFU具有特点：
第一：灵活性。因为FFU是自带动力的，它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里，可根据需要，分区控制。而且，随着半导体生产工艺的

变化，厂房布局必然要作相应调整，FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松，而且不会带来二次投资。
第二：可再利用性。从理论上讲，一时不用的FFU设备，可以拆下来，密封好，妥善保管，留待下次使用。
第三：负压通风。这是FFU的独特特点。由于它本身能够提供静压，使得送风静压箱相对于洁净厂房负压。这样，静压箱内的颗粒就不会受到压

力的作用泄漏到洁净区里，使得密封变得很简单而且安全。
第四：缩短建设周期。使用FFU省掉了风管的制作和安装，因为风管在洁净工程中，占掉很大的建设周期，任何一个投资者都希望投资能尽快带

来收益，选用FFU成为了一种可能。
第五：减少运行成本。虽然在选用FFU时，初期投资要比使用风管通风高，但它在后期运行中，突出的表现出节能、免维护等特点。用在循环减

少40%的运行成本。

FFU组合的关键性能参数：
模数尺寸（ceiling modular size）：安装吊顶龙骨中心线的间距，FFU常用的标准模数尺寸为1200X600（4’X2’），1200X900（4’X3’），120

0X1200（4’X4’）。
实际尺寸（actual size）：鸿茂实业的FFU过滤器的实际尺寸=模数尺寸-（龙骨断面宽度-25mm），风机模块的实际尺寸比过滤器稍大4mm。

比如说常用的吊顶龙骨端面宽度为55mm，模数尺寸为1200，900，600所对应的FFU过滤器实际尺寸为1170，870，570，风机模块的实际尺寸

为1174，874，574。
机外余压（ESP）：在某一设定风速下，风机模块的总静压（TSP）扣除HEPA/ULPA过滤器的阻力，即为机外余压（ESP），单位是Pa。ESP是

指FFU整机能克服洁净室循环风阻力的能力，无论是标注FFU机外余压或风机模块的总静压TSP，都必需指名送风风速或风量，否则没有意义。
输入能耗（input power consumption）：FFU正常运转时输入电压和输入电流的乘积，单位是W。显然，FFU在不同的运行工况点，即在不

同的运行风量和总静压时，输入能耗不同。因此，如果不指明运行工况点，输入能耗值没有意义。
单体噪音（noise level）：根据标准IES-RP-CC002，FFU正常运转时在距离出风面中心正下方1.2mm处的噪音值，单位是dB(A)。FFU在不同的

运行工况点，即在不同的运行风量和总静压时，噪音不同。因此，如果不指明运行工况点，噪音值没有意义。
微振（micro vibration）：根据标准IES-RP-CC002，FFU在最大运转工况点时的振动幅度和振动速率，单位分别是mm和mm/s。
送风均匀度（air uniformity）：根据标准IES-RP-CC002，FFU正常运转时，在距离出风面上方150mm（6”）的水平面上测量逐点的风速，得出

平均风速值。平均风速与最大风速和最小风速的偏差比即为送风均匀度，单位为+/-%。标准IES-RP-CC002中要求FFU的任一点的送风风速与其平

均风速的偏差均应在+/-20%以内。
过滤器效率等级（filter grade）：依据欧洲标准EN1822，过滤器等级从H10-H14，U15-U17。或依据美国标准MIL-282（HEPA），对于0.3um

的效率值；依据美国标准IES-RP-CC007.1，对于0.12um的效率值。

鸿越实业FFU的风机模块具有如下特点：
性能可靠：采用国内出口品牌的内转子马达及直驱离心叶片和电气元器件，风机保修期：2年内出问题包换。
型号齐全：根据马达有交流（AC）和无刷直流（EC）；根据输出静压有标准型和高静压型；根据模数尺寸有1200X600，1200X900，1200X1200，

1500X750；根据箱体材质有锌铝涂层钢板（标准型）、不锈钢型、铝板。
优异的出风均匀度：达到并优于国际标准IES-RP-CC-002中的+/-20%的要求。
低噪音：科学的马达风机选型和转速设计、独特的导流和消音材料的应用、合理的箱体尺寸设计，使鸿茂实业FFU的噪音水平低于同类产品。
低微振：总振动速率均小于1mm/s，振幅不超过4um低能耗和低散热量，一流的风机品质和动平衡设计，以及箱体本身的零压损，使鸿茂实业FFU在

同样的输出工况时运行能耗和散热量低于同类产品。
灵活的控制方式：AC型可采用单台独立调速器或分组变压式调速器，并兼有报警指示功能。

主要技术参数：

注：本公司产品不断改进，其中一些性能参数可能会进行修改，恕不另行通知