净化车间内墙板和顶棚的装修应符合下列要求:
①净化车间墙板和顶棚的装修表面应平整、光滑、不起尘、避免眩光、便于除尘等要求,并减少凹凸面。
②踢脚不应突出墙面。
③净化车间内不宜采用砌筑墙抹灰墙面,当必须采用时宜干燥作业,抹灰采用高级抹灰标准。墙面抹灰后应刷涂料面层,并应选用难燃、不开裂、耐清洗、表面光滑、不易吸水变质发霉的涂料。无尘车间技术夹层的墙面和顶棚表面应平整、光滑,位于地下的技术夹层应采取防水或防潮、防霉措施。
净化车间也叫洁净厂房、洁净室(Clean Room)、无尘室,是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
净化车间的定义
净化车间最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触的大气的洁净度以及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为净化车间。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。
每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。5μm及以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
净化车间的构成是由下列各项系统所组成:
(1)彩钢板天花板系统
(2)空调系统:包括过滤器系统、送风及回风系统。
(3)彩钢板隔墙板:包括窗户、门。
(4)地板:包括高架地板或防静电PVC地板。
(5)照明器具:包括净化灯、日光灯、应急灯等
净化参数
换气次数:100000级≥15次;10000级≥20次;1000≥30次。压差:主车间对相邻房间≥5Pa平均风速:10级、100级0.3-0.5m/s;温度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波动±2℃。
温度45-65%;GMP粉剂车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电。
噪声≤65dB(A);新风补充量是总送风量的10%-30%;照度300LX
净化原理
气流→初效净化→空调→中效净化→风机送风→管道→高效净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌等颗粒 → 回风百叶窗→初效净化 重复以上过程,即可达到净化目的。
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净化车间洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级
等数ISO空气洁净
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大于或等于表中粒径的最大浓度限值(P/m -空气)
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洁净等级美国联邦209E
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0.1um
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0.2um
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0.3um
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0.5um
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1um
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5um
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ISO Class1
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10
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2
|
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ISO Class2
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100
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24
|
10
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4
|
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ISO Class3
|
1000
|
237
|
102
|
35
|
8
|
|
1
|
ISO Class4
|
10000
|
2370
|
1020
|
352
|
83
|
|
10
|
ISO Class5
|
100000
|
23700
|
10200
|
3520
|
832
|
29
|
100
|
ISO Class6
|
1000000
|
237000
|
102000
|
35200
|
8320
|
293
|
1000
|
ISO Class7
|
|
|
|
352000
|
83200
|
2930
|
10000
|
ISO Class8
|
|
|
|
3520000
|
832000
|
29300
|
100000
|
ISO Class9
|
|
|
|
35200000
|
8320000
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293000
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300000
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