FFU全称为 Fan Filter Units, 中文意思为“风机滤网单元”。确切地说是一种自带动力、具有过

滤功效的模块化的末端送风装置。风机从FFU顶部将空气吸入并经HEPA过滤，过滤后的洁净空气在整

个出风面以0.45m/s±20%的风速均匀送出。
性能结构：
1.FFU工作时间长，低噪声、免维护、震动小、可无级调速，风速均匀，安装方便等。FFU可模块化

连接使用，使得FFU广泛应用于无尘室、无尘操作台、无尘生产线、组装式无尘室和局部百级等应用

场合。
2.FFU层流罩风机滤网机组可模块化连接使用，使用FFU广泛应用于洁净室、洁净工作台、洁净生产

线、组装式洁净室和局部百级等应用场合。
3.FFU层流罩设有初、高效两级过滤网。风机从FFU顶部将空气吸入并经初、高效过滤器过滤，过滤

后的洁净空气在整个出风面以0.45M/S±20%的风速匀速送出。
4.FFU过滤单元采用美国最新技术，适用于在各种环境中获得高级别的洁净环境。它为不同尺寸大小

，不同洁净度等级的洁净室、微环境提供高质量的洁净空气。在新建洁净室、洁净厂房式改造翻新

中，即可提高洁净度级别，降低噪音和振动，也可大大降低造价，安装维护方便，是洁净环境的理

想部件。
整体设计：
FFU(Fan Filter Unit)是风机和过滤器的组合，也可称为“自带风机的过滤设备”。FFU通常安

装在洁净室的送风末端，一般放置在吊装的“干式”垫片密封龙骨框架上。FFU上面部分为风机模块

，下面部分为过滤器。根据洁净度的要求，过滤器可为不同等级的高效(HEPA)或超高效(ULPA)过滤

器，为洁净室提供洁净空气。风机模块除了要克服FFU下部高效过滤器的阻力，还要克服整个循环风

所有通道部件的阻力，从而维持设定的运行风速。FFU系统具有设计施工简便，风速调节灵活，洁净

区易于变更等特点，因此已成为工业洁净室的流行系统形式之一。
该机组设计整体灵活，便于与专用型吊顶骨架以及其他一些合适的骨架配合使用。当过滤器采

用刀边型框架时，这种机组也可用于液槽密封吊顶骨架，根据设计的规格，他可轻而易举配合任何

吊顶骨架，达到洁净等级要求。外框可选用铝质或不锈钢，各具特色。采用这种机组，可以为洁净

室输送高质量的空气，而且空气流通好。它适合用于半导体、电子、平板显示器和磁盘驱动器的厂

家及光学、生物工业及其他对空气中污染有严格控制要求的地方。一般万级无尘室所用的高效过滤

器，它能对空气中粒径为0.3um的微粒子过滤效率达99.99%，出风风速0.4m/s，最大不能有超过20KG

以上的外力作用于过滤器上，以免破坏过滤器组织架构。
特点：
第一：灵活性。
因为FFU是自带动力的，它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里，可根据需要，分区控制

。而且，随着半导体生产工艺的变化，厂房布局必然要作相应调整，FFU的灵活性使得这样的调整变

得轻松，而且不会带来二次投资。
第二：可再利用性。
从理论上讲，一时不用的FFU设备，可以拆下来，密封好，妥善保管，留待下次使用。
第三：负压通风。
这是FFU的独特特点。由于它本身能够提供静压，使得送风静压箱相对于洁净厂房负压。这样，

静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里，使得密封变得很简单而且安全。
第四：缩短建设周期。
使用FFU省掉了风管的制作和安装，因为风管在洁净工程中，占掉很大的建设周期，任何一个投

资者都希望投资能尽快带来收益，选用FFU成为了一种可能。
第五：减少运行成本。
虽然在选用FFU时，初期投资要比使用风管通风高，但它在后期运行中，突出的表现出节能、免

维护等特点。
不锈钢FFU：
1、FFU外形尺寸(mm)：1175*575*340，噪声小于50分贝;
2、FFU箱体和高效过滤器采用分体式设计,安装,更换高效更方便;
3、风机采用德国ebm直驱式离心风机,工作时间长达5万小时以上;
4、并具有节能、计算机集中控制、运行稳定、噪声低、数字化调整等特性;
5、FFU采用独特的风道风速均匀，整个出风面以0.45M/S风速均匀送出。
6、壳体可选用镜面不锈钢、铝合金制做美观大方;
7、出厂前均按美国联邦标准(209E)用激光粒子计数器逐台扫描检测，确保质量;
8、适用于10~1000级无尘车间，便于整体运行集中控制;
9、适合于组装成超净生产线，可根据工艺需要布置为单台使用，也可将多台串联形成100级流水装

配线。