主营:光学影像测量仪/工具显微镜/观测显微镜/
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全自动鼻轮设计、全程软件控制
3A (3 Automatic) 特点设计
鼻轮自动变倍
镜头自动对焦
光源自动控制
采用 ARCS 精密光学尺,分辨率为 0.1μm
线性精度 X、Y 轴 < 1μm (1+L/200) μm)
重复精度 <1 μm
搭配 SI-901专业几何影像量测软件
1. 晶圆焊线(Die Bonding)确认
(a) 基底高度量测
(b) 蛋白高量测
(c) 蛋白 X轴、Y轴距离量测
(d) 线弧高量测
Microv
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宽距检查仪
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