等离子光氧净化器是专门去除有毒有害气体及恶臭气体的一种装置。它具有高效率、运行成本低、设备占地面积小，自重轻、无任何机械动作，无噪音等特点，等离子光氧净化器净化效率在96%以上，是目前市场上处理有机有害气体比较佳的废气净化设备。
该设备是通过破坏、分 解、催化氧 化把污染气体分 解为无毒无害无味气体，对于VOC有机废气、恶臭气体及烟气废气的脱臭净化处理效果非常理想，如果是要处理浓度比较高的废气的话，应该是配合水帘或者废气洗涤塔+低温等离子设备+光解式废气净化设备来共同处理，处理废气的净化效率会达到98%。
光氧等离子一体机利用特制的高能高臭氧UV紫外线光束照射废气，把通过初步预处理的废气送入光氧废气处理装置后采用风机送出。使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，光氧催化废气处理设备与臭氧进行反应生成低分子化合物，如CO2、H2O等。投资费用低，适用范围广，净化效率高，操作简单，除臭效果好，设备运行稳定，占地小，运行费用低，随用随开，不会造成二次污染。
有些产生废气的工艺所排出的废气中会体现出恶臭、黏附、高温，高湿、此种工况下要完全处理废气根本不可能，在高于80℃的工况下光氧设备的光源效率仅为40℃时的50%，如果黏附物黏在光管壁上，那么光源就无法散发，没有光源的设备就没有净化处理功能，因此在光氧废气处理装置前设置水喷淋降温，及粗效过滤作为预处理器，从而确保由原配套风机抽风引入的废气中所含尘杂在进入光氧废气处理装置时得到有效的拦截过滤。
等离子光氧净化器利用恶臭、有机废气中某些物质易溶于水的特性，等离子光氧净化器使恶臭、有机废气成分直接与水接触，从而溶解于水达到去除目的。适用于水溶性、有组织排放源的恶臭、有机废气。工艺简单，管理方便，设备运转费用低，但产生二次污染，需对洗涤液进行处理;净化效率低，应与其他技术联合使用，单独使用对有机废气处理效果差。所以把水喷淋和光催化氧 化废气处理技术结合起来对含有高温以及黏性排放的有机废气和恶臭气体及粉尘有特效。
等离子净化设备性能特点：
1、工业废气处理设备阻力低：在保证足够气液接触面积基础上，工业废气净化塔选用空气动力特性比较佳的填料品种及结构形式，使设备阻力在额定风量不超过40毫米水柱，是国内各种填料吸收塔中阻力比较低的一种。这对于配用耐腐蚀低压通风机极为有利。
2、废气处理设备占地面积小：工业废气净化处理塔采用PP、FRP等材质，将塔体，吸收液槽、循环泵、吸收液管道系统组合成一套完整的工业处理设备，结构紧凑，便于现场安装及操作管理，占地面积小，无论对新建工程还是技改项目都可适应。
3、废气处理设备适用范围广：化工、轻工、印染、医药、钢铁、机械、电子、仪表、电镀等工业部门生产过程中排放的有机废气、硝酸、氢氟酸等尾气等硫氧 化物、氮氧 化物、碳氧 化物、氰化物等酸性气体，采用工业废气净化设备，都可得到满意的效果。
4、废气净化效率高：酸碱雾废气净化塔采用二级逆向喷淋，填料比表面积大，由试验研究确定的气保证了性能稳定，对各种浓度的酸性或碱性废气净化效率均可达85%-95%。
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