该真空导入器产品采用高品质的焊接波纹管,保证十万次以上的循环使用,轴向驱动力可达到150N,在保证超高真空密封的同时,通过手动调节手轮(或电机驱动),实现高精度的直线驱动,精确位置控制,安装角度自由;根据客户要求,可以制作各种驱动长度。有波纹管内置型、波纹管外置型和中空型三种结构,客户根据使用要求选用。
主要参数
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适用范围:
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105~5x10-7Pa
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真空漏率:
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≤1x10-10Pa.m3/s
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适用温度:
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-30~300℃
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驱动方式:
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手动
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驱动方向:
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直线
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安装状态:
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任意方向
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连接方式:
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CF法兰或客户指定
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主要零件材料
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焊接波纹管
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316L
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刻度圆柱
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304
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进给刻度盘
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LV12阳极化
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