Pfeiffer 普发涡轮分子泵 Hipace 1200-2300
上海伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵 Hipace 1200-2300,抽速范围 1200-2300 l/s 的全系列紧凑型复合轴承涡轮分子泵, HiPace 1200 - 2300系列涡轮分子泵可以倒置安装。对小分子量气体(H2, He)和大分子量气体(Ar, CF4)都有很高的抽速。
分子泵 Hipace 1200-2300 l/s 产品优点:
1.抽速从 1200-2300 l/s 的全系列产品
2.安装角度可选 0°-90° 和 90°-180°
3.分子泵有抗腐蚀性气体型号可选(C型号)
4.带节流阀和阀门的集成净化气体系统
5.电压范围 90 - 265 V
6.获得 SEMI S2, UL, CSA 和 TüV认证
7.防护等级 IP54 符合工业环境应用要求
8.适用于各种严苛工艺如刻蚀,溅镀,分子泵耐粉尘
9.集成分子泵控制器 TC 1200,可直接连接一般电源
分子泵 Hipace 1200-2300 l/s 技术参数:
分子泵型号
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分子泵连接尺寸 DN
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抽速 l/s
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压缩比
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最高启动压强hPa
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极限压力
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全转速气体流量hPa l/s
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启动时间
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重量
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进气口
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排气口
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氮气
N2
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氦气He
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氢气 H2
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氮气
N2
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氮气N2
|
hPa
|
氮气N2
|
min
|
kg
|
HiPace® 1200
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200
|
40
|
1,250
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1,300
|
1,100
|
> 1X108
|
2
|
< 1X10–7
|
20
|
2.5
|
27 – 40
|
HiPace® 1500
|
250
|
40
|
1,400
|
1,350
|
1,150
|
> 1X108
|
2
|
< 1X10–7
|
20
|
2.5
|
29 – 41
|
HiPace® 1800
|
200
|
40
|
1,450
|
1,650
|
1,700
|
> 1X108
|
1.8
|
< 1X10–7
|
20
|
4
|
33 – 34
|
HiPace® 2300
|
250
|
40
|
1,900
|
2,000
|
1,850
|
> 1X108
|
1.8
|
< 1X10–7
|
20
|
4
|
34 – 47
|
C = 抗腐蚀性气体
T = 温控管理
分子泵 Hipace 1200-2300 l/s 应用领域:
1. 分析仪器 2. 半导体 3. 镀膜 4. 工业 5. 研发
分子泵 HiPace? 1200, DN 200 ISO-K
分子泵 HiPace? 1200, DN 200 ISO-F
分子泵 HiPace? 1200, DN 200 CF-F
分子泵 HiPace? 1200, pumping speed
分子泵 HiPace? 1500, DN 250 ISO-K
分子泵 HiPace? 1500, DN 200 ISO-F
分子泵 HiPace? 1500, DN 200 CF-F
分子泵 HiPace? 1500, pumping speed
分子泵 HiPace? 1800, DN 250 ISO-K
分子泵 HiPace? 1800, DN 250 ISO-F
分子泵 HiPace? 1800, pumping speed
分子泵 HiPace? 2300, DN 250 ISO-K
分子泵 HiPace? 2300, DN 250 ISO-F
分子泵 HiPace? 2300, DN 250 CF-F
分子泵 HiPace? 2300, pumping speed,
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上海伯东: 罗女士