作为半导体制造的“血液”，各类电子气会大量的被应用到半导体及相关行业中，这些电子气大多具有有毒、易燃、腐蚀等特性，这就要求从气源到用气点的整个供气管路中的设备必须完全可靠，针对气体的腐蚀性，如果想保证气体设备的高性能的同时延长使用寿命，这里有几种选项供您参考。
许多因素都会造成气体设备的腐蚀，如环境因素（潮湿或者含盐的海洋环境）造成的外部腐蚀，或者腐蚀性气体和设备反应造成的内部腐蚀。后一种情况不仅会造成人身的健康和安全风险，同时也会影响气体的纯度，产生颗粒物对后端的工艺造成不可预知的风险。所以，气体设备的正确防护是应对此类工况的最基本措施。ROTAREX与气体公司合作近百年，积累了丰富的经验及广泛的专业知识，针对您的各种特殊应用工况，我们都会帮您找到合适的解决方案。
首要且最重要的事是选择适合您的应用工况，并且与气体兼容性最好的材料：黄铜，不锈钢，铝或者各种合金（哈氏合金，蒙乃尔合金，铝硅铜合金等），ROTAREX对各种材料的耐腐蚀性有较深的了解，另外，针对材料的选型及兼容性，我们还拥有一个数据库，此数据库涵盖了本体材质和内部零配件与超过千种不同的介质的兼容性等信息。
并延长其使用寿命?
在选择了材料之后，您可能还需要其它的防腐蚀措施，如：表面涂层，材质处理或者表面抛光等，如果气体设备应用于特殊的，非常规的工况，这些防腐蚀措施尤为重要。对于气体设备的内/外部的防腐蚀措施，ROTAREX可以提供您合适的解决方案。
根据本体材质的不同，选择合适的处理来进一步保护气体设备免受外部腐蚀，如：表面镀镍，铬，PTFE，或者阳极氧化处理及简单的喷涂。如果气体设备同时也遭受内部的腐蚀，相对来说会更复杂。除了本体材料以外，也要分析与气体接触的内部零配件，以提供更合适的腐蚀防护。表面处理如减少零配件间的磨损来提高气体兼容性，而钝化处理及电解抛光可通过提高表面的铬铁比来提高设备的耐腐蚀性。
有时，还需要在零部件内部进行涂层处理，可以使用SiO2涂层或者镀银，也或者是采用镀金或镀铂工艺， 在某些情况下，ROTAREX会使用化学气相沉积工艺（CVD）来将涂层镀到设备表面，这种工艺专为不锈钢材质设计，但有时候也会用在合金材质上，用以形成一层全覆盖、耐用的涂层来耐受极端温度和压力。除了传统的表面涂层之外，在钢瓶阀及气体设备的表面，ROTAREX同时也能提供特殊的硅涂层，此涂层是惰性及非反应性涂层，如果您需要对气体进行持续的采样和分析，这种涂层是理想之选。
ROTAREX 解决方案
无论何种工况，ROTAREX都可以为您找到最适合的解决方案，确保最优化的设备性能安全性以及使用寿命。
如需了解气体应用相关产品的更多信息，请联系我们：