什么是硅烷气体：
硅烷即硅与氢的化合物，是一系列化合物的总称，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些的硅氢化合物。目前应用多的是甲硅烷。一般把甲硅烷简称做硅烷。
硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。 因其高纯度和能实现精细控制，已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。硅烷广泛应用于微电子、光电子工业， 用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层， 并且是迄今世界上大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。硅烷的高科技应用还在不断出现, 包括用于制造陶瓷、复合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成为许多新技术、新材料、新器件的基础。硅烷又以它的自燃、爆炸性而著称。硅烷有非常宽的自发着火范围和的燃烧能量，决定了它是一种高危险性的气体。
半导体厂房硅烷气体泄漏检测主要特点：
★速核系统：采用高精度32位高速微处理器，Epsion数据处理系统，速测危害气体，高效预警毒气泄漏；
★多级标定：业内智能化多级校准技术，多重滤波技术，更精准更快速地反馈现场浓度值；
★自动标定：通入实际标气，无需标定员操作，智能识别标定；
★稳定性：经过严格的进料筛选工序，及行业经验十几年的研发人员匠心打造，抗EMC、EMI干扰，大幅度提高的可靠性；
★多结构的通讯方式：支持4-20mA与RS485单路或多路同时通讯，有线与内置无线433M/GPRS等无线多路通讯（选配）；
★规范标准：JJF 1363-2012，JJF 1368-2012，JJF 1421-2013，JJF 1364-2012；GB3836-2010，GB 12476.5-2013。
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半导体厂房硅烷气体泄漏检测技术规格参数及气体种类：
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检量程测气体
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硅烷
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量程
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0-10PPM/0-50PPM/0-20PPM
（更多量程可以咨询）
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分辨率
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0.01PPM
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检测原理
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电化学原理/光离子原理
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精度
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≤±3F.S
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显示方式
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320*240高清彩屏
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响应时间
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T90＜30S
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恢复时间
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≤30S（T90-T10)
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使用寿命
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传感器2-3年
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检测方式
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扩散式
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重复性
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≤±1%F.S
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继电器
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容量 220VAC /24VDC
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无线输出
（选配）
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433M（≤无障碍3公里 ）（定制）
GPRS（无距离限制）（定制）
WIFI/zigbee/LORA（定制）
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有线输出
（选配）
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485+开关量输出 （标配）
4-20mA+RS485+开关量报警输出 （定制）
以上任选一种
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防护等级
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IP66
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防爆等级
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隔爆型：ExdⅡCT6 Gb
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尺寸
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205*140*92mm(L×W×H)
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探头材质
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铝合金、不锈钢（可选）
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安装方式
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壁挂式、杆装式、管道式
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重量
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1KG
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工作电压
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12-35VDC，常用12VDC、24VDC
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电气接口
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接线口尺寸：内螺牙 M20*1.5（ G1/2内螺牙、G3/4内螺牙、 1/2NPT
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标准配件
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探测器、说明书、红外遥控器、厂家出厂检测报告
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选配件
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防爆声光报警、安装支架、管道式安装配件等
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工作环境
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温度：催化燃烧：-40~+70℃；电化学：-20~+50℃；PID：-20~+50℃；红外：-20~+50℃
荧光法：-20~+50℃； 氧化锆：-40℃~+700℃
压力：86-110Kpa；（氧化锆：≤0.6Mpa)
湿度：15%RH~95%RH（无凝露）
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产品功耗
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电化学传感器：P≤1.2W 红外传感器：P≤2.0W
普通催化传感器：P≤2.6W 低功耗催化传感器：P≤1.5W 热导传感器：P≤2.0W
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执行标准
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GB15311.1-2003；GB3836.1-2010；GB3836.2-2010；GB3836.4-2010
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