产品描述

AFM100 Plus/AFM100系统是一款以普及AFM应用为目标的通用型高分辨扫描探针显微镜系统，具备可靠探针更换和一键自动测量/处理/分析功能，支持AFM-SEM-EDS多模式观察分析，适用于研发、生产和教育等多种场合。

应用领域

一、材料科学：能获取材料表面的三维形貌、粗糙度等信息，研究其微观结构与加工质量。还可测量材料表面摩擦力、阻抗分布等物理性质，以及观察材料在不同条件下的相变过程和结构演变。

二、半导体工业：可检测半导体基片表面的抛光缺陷、图形化结构等，提供表面粗糙度数据和深度信息，助力控制晶圆加工质量。同时能检测半导体器件表面的缺陷以及表面阻抗、电势分布等电学性质，有利于半导体材料的可靠性、均一性和失效性分析。

三、生命科学：可原位检测溶液中DNA、蛋白质等生物分子的精细结构，测量其力学和电学性质。也可用于测量细胞的机械特性，观察细胞表面形貌和膜蛋白定位，为生命科学研究提供重要手段。

四、电化学领域：能原位研究电化学沉积、金属腐蚀等过程，揭示反应机理。结合手套箱等装置，还可原位研究锂电池等电池的充放电过程，有助于提高电池效率和性能。

仪器功能

一、多种测量模式：配备一系列功能模块，可实现接触式、轻敲式、相位图、摩擦力及力曲线等多种测试功能。能在大气环境下准确地观测样品表面微区（纳米及微米尺度）三维形貌，同时可对样品表面物理特性（电学、磁学、力学等特性）进行研究。

二、数据采集与分析：支持自动多点测量，只需点击一下，从测量，到图像数据分析、保存可一次性完成，大大缩短了数据测量分析时间。

三、AFM标记功能（选配）：通过采用日立高新技术自主开发的S?Mic.（AFM-SEM相关显微镜法）观察方法，在观察样品的同一位置时，可以充分发挥AFM和扫描电子显微镜SEM的特性，对样品进行机械特性、电气特性、成分分析等检测，易于开展多方面分析。

仪器特点

一、提高操作性：采用新开发的预装方式悬臂，简化了过去操作繁琐的悬臂更换过程，提高了操作性。同时配备自动向导功能，可根据样品的表面形貌，自动设置最佳测量条件，对探针进行接触状态控制和扫描速度调整等，使任何人测量都能得到稳定的结果，降低了对操作人员经验的依赖。

二、增强可靠性：通过自动向导功能设置最佳测量条件，以及预装悬臂减少安装误差等方式，提高了数据的可靠性，减少了因人为因素导致的数据差异。仪器的RMS噪音水平≦0.03nm、基线漂移≦0.03nm/sec，保障了测量的精度。

三、实现扩展性和持续性2：标配控制软件免费下载服务和能够自行诊断意外故障因素的自检功能，用户可自行进行软件升级，始终保持仪器的最新性能，确保用户可长期使用。

四、与 SEM 亲和性高：选配的“AFM标记功能”提高了与本公司SEM装置的亲和性，便于对样品进行多设备、多方面的联合分析。

五、适用范围广：可应用于电池材料、半导体、高分子、生物材料等各个领域的科学研究开发和质量管理，从观察石墨烯和碳纳米纤维等纳米材料，到超过0.1mm的大范围3D形貌观察、粗糙度分析、物性评估等都能胜任。

技术指标和基本参数