产品概述

菲斯特仪器FSTPS- DN系列多功能探针座匹配多功能探针夹具，可以180°旋转+精密60°定向倾斜，根据位移精度划分为： 10μm、3μm、1μm、0.7μm、0.5μm；根据不同的样品需求，选择不同位移精度的探针座。

>产品信息

◆ 主体材质采用航空铝合金，表面喷砂氧化，良好的机械性能，高强度，耐磨

◆ 位移部分采用进口交叉滚珠导轨，超高稳定性

◆ 整体驱动采用进口高分辨率微分头，提高整体位移精度

◆ 匹配多功能调节夹具，可以180°旋转+精密60°定向倾斜，适用于在显微镜下定向调节探针，不阻挡视野

◆ 底部超强可调磁性底座，可以通过旋钮调节磁力的有无，磁性吸附10Kg，保证了扎针稳定性

◆ 可以升级真空吸附，搭配真空泵， 7L/ min

>技术参数

◆ 探针位移行程： XYZ三维分别13mm+ 180°旋转+精密60°角度倾斜（可锁紧）

◆ 整体结构外形尺寸： 200mm× 83mm× 82mm（ LWH）

◆ 探针位移精度： 3μm

◆ 适用于50μm以上电极使用

◆ 漏电精度：同轴线缆（ 10p A）

进口三同轴线缆（ 100f A）

◆ 可选接头：同轴线缆可选择BNC、鳄鱼夹、香蕉插头、N型、SMA等进口三同轴线缆可选择三同轴接口(Triaxial)

◆ 测量范围：电流： 10p A/ 100f A- 10A电压： ≤ 1400V

◆ 适用于R/ F量测、I/ O点量测、直流DC测试 、晶圆测试、电阻电压测试、太阳能电池测试、光电流测试

、半导体器件分析测试等