蚀刻速度和侧蚀量,是化学蚀刻中两个最关键同时也是最为重要的参数。
蚀刻速度决定了化学蚀刻加工周期的长短,蚀刻速度越快,蚀刻加工周期越短,生产效率越高,反之生产效率降低。但是,蚀刻速度也并非越快越好:
①蚀刻速度越快,在单位时间内对金属蚀刻量就越大,产热量增大,腐蚀液温度变化快,不利于蚀刻速度的恒定;
②蚀刻速度太快,对于深度要求很精确的零件加工不易控制;
③:蚀刻速度越快,经蚀刻后的金属表面质量越低,明显影响蚀刻表面的平滑度和光泽度;
④高的蚀刻速度往往都需要高浓度的腐蚀剂浓度、高腐蚀性的化学试剂、高的蚀刻温度等。这些因素一则使腐蚀剂成本增高,同时对抗蚀层的要求增高,成本增加。
再则,高浓度的腐蚀剂和高的蚀刻温度都会增加对环境的污染和对操作人员的危害。在实际应用中,对于那些蚀刻量较大的零件,可以采用“先快后慢”的方法进行。
所谓“先快后慢”就是先用蚀刻速度较快的腐蚀液进行一次蚀刻,当蚀刻深度接近设计要求值后,再换用蚀刻速度较慢的腐蚀液进行精度蚀刻,这样做虽然增加了工序,但缩短了加工时间,同时又保证了蚀刻精度和表面光泽度。
至于快速蚀刻时间的确定,需要根据零件的加工要求而定,一般可以选择总蚀刻量的80%’- 90%为宜。
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