无尘车间也叫洁净厂房、洁净室(Clean Room)、无尘室，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
一 清洁方法
无尘车间也叫洁净厂房、洁净室(CleanRoom)、无尘室，是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害气体、细菌等污染物排除，并将室内的温度、洁净度、室内压力、气流速度等控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的房间。即不论外在空气条件如何变化，其室内均能具有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等的特性。
无尘车间是电子厂、医药行业等不可或缺的重要工作场所，所以在对其进行清洁工作时应该严格按照以下流程进行：
(1)、更换好专用防静电服，戴好帽子、口罩，经风浴吸尘通道除尘后，进入洁净室。
(2)、准备好清洁工具及用品并放置在规定地点后，开始清洁工作。
(3) 捡拾地面垃圾，按生产线排列次序由里向外逐一进行。
(4) 按时倾倒清运垃圾桶、垃圾箱内垃圾，并进行检查，按规定严格分类后，经生产线管理员或保安检查后 运送到指定的垃圾房内分类放置。
(5) 由上向下使用洁净纸或无尘布清洁室内玻璃、墙面、货架等。
(6) 使用洁净尘推由里向外小心进行地面推尘、保洁。地面有垃圾、污迹、水迹等及时用无尘布清洁干净。
(7) 利用生产线员工休息就餐时间对生产线、工作台下、坐椅下地面进行清理。
(8) 定期清洁天花板、空调出风口、顶灯隔罩、高架地板下,清洁程序和使用的材料必须申请厂务部批准，并利用节假日及休工间隙按计划进行。
(9) 洁净室地面打蜡需严格按计划及清洁程序进行，必须使用防静电蜡。
(10) 清洁工作完成后需将所有清洁用品收到指定清洁间，与普通工具区别存放，避免交叉污染，整齐摆放，不得随意乱放在洁净室内。
对洁净室进行清洁工作时还应注意头罩、手套等不得重复利用，不允许有私人物品，如大衣、帽子、钱包、钥匙等带入洁净室内等等，工作人员要严格依照流程进行操作。
二 清洁注意事项
在清洁无尘车间时，一定要注意以下内容：
(1)清洁无尘车间内的墙时应使用洁净室无尘布;
(2)用90%去离子水和10%的异丙醇配置清洁剂;
(3)使用已获批准的无尘车间专用去污剂;
(4)每天都要检查车间和整备间的垃圾箱，并及时清走。
(5)每块地板都要吸尘。每次交接班时，都应在地图上标明工作完成情况，例如在哪结束从哪开始。
(6)清洁无尘车间的地面应使用专用拖把。
(7)在无尘车间里吸尘应使用带有高效空气过滤器的专用真空吸尘器。
(8)所有的门都需要检查并擦干
(9)吸完地以后再擦地。一周擦一次墙面。
(10)架空地板下也要吸尘及擦拭。
(11)三个月擦一次架空地板底下的柱子和支撑柱。
(12)工作时一定要记住，永远是由上往下擦，从离门最远的地方向门的方向擦。
三 清洁管理程序
1、无尘车间管理的目的
半导体产品生产过程对车间有明确的洁净要求，为了满足生产工艺需要、保证产品质量、安全生产，必须对洁净室的环境、人员、物料、设备、生产过程等进行控制。
2、无尘车间管理的原则
.进入洁净室的管理，包括对洁净室工作人员进入、物料进入、各类设备的搬入以及相关的设备、管线的维护管理，应做到不得将微粒、微生物带入洁净室。
.操作管理技术，对洁净室内人员用洁净工作服的制作、穿着和清洗;操作人员的移动和动作;室内设备及装修材料的选择和清扫、灭茵等，尽可能地减少、防止洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖等。
.严格各类设备、设施的维护管理，制定相应的操作规程，保证各类设备、设施按要求正常运转，包括
净化空调系统、各类水气电系统、生产工艺设备和工器具(工装夹具)等。以确保产品生产工艺要求和空气洁净度等级。
.清扫、灭菌管理，对洁净室内的各类设备、设施的清扫、灭茵以及方法、周期和检查作明确的规定，防止、捎除洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖。
.洁净室环境控制的内容包括：空气净化、洁净建筑、与产品直接接触的水或气体或化学品和生产设备、工器具等的污染物控制以及微振动、噪声、静电的控制、防止等。
3、洁净车间清洁操作程序
具体操作方法
A 用伸缩杆配合去尘布，自上而下，进行墙体清洁，对污染较重的局部用去尘布沾取少量纯防静电清洁剂擦 ，用去尘布揩拭干净。
B 用伸缩杆不方便的局部，应用梯子按同上的操作方法清洁墙面(如柜子的上方)。
C 墙面清洁完毕后，用吸尘器加软管吸取车间地面的粉尘，吸尘器应置车间的走廊上，软管进车间，吸尘扒头应从左到右，先远后近的区域进行吸尘，吸尘的区域不能有间隔，以免漏吸(换鞋套)。
D 吸尘完毕后，用尘推按照吸尘的操作方法进行，局部污染较重的地方应用去尘布沾取少量纯防静电去尘剂，用湿去尘布清洁，然后用干防静电去尘布揩干。
E 门窗内侧、柜子等附件的清洁用去尘布配合防静电清洁剂先上后下进行清理。
F 整理工具，定期将吸尘器尘袋更换(地点：车间外)。
G 车间内须回收的废料放置在防静电车上，从车间西门运至成品库门口(通知外围保洁员接应)，并分类集中至成品库内。
H 车间垃圾具体清理程序见后附文件。
备注:以上所用工具及耗材均应符合要求规定。
4、洁净车间走廊操作程序
具体操作方法：
A 用伸缩杆配合去尘布，自上而下，由左向右，进行墙体清洁，对污染较重的局部用纯防静电清洁剂，用去尘布揩拭干净。
B 用伸缩杆不方便的局部，应用梯子按同上的操作方法清洁墙面;对于石膏墙墙体用吸尘器自上而下吸取浮尘。
C 用去潮尘布配合防静电清洁剂先上后下，由左至右进行清理。
D 用无尘布由上侧、外侧及内面全部擦拭干净，整理好消防设备并检查有无损坏，完好后把门关闭;
E 用防静电尘推由一侧，依次推尘清洁。
打蜡程序 用起蜡水先行起蜡，用吸水机吸净残蜡，用清洁拖布脱水后拖净地面，等地面彻底风干，再打防静电地板蜡。
备注:以上所用工具及耗材均应符合公司要求规定。正在清洁的区域应设置标志牌，且清洁工作不得与威世员工的正常工作冲突。
5、地面打蜡的方法和程序
需要准备的机器和工具、清洁剂：洗地机;吸尘吸水机;抛光机;大面积作业需配备自动洗地机、拖把、蜡拖、拖把扭干器、水推、除蜡剂、中性多功能清洁剂、除蜡垫(黑色)、清洁垫(红色、白色)、抛光垫(白色)。
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