臭氧通过高压电离产生，所以洁净无油、无水、无粉尘的气源对臭氧发生器的运行至关重要。还可以通过氧气富集提高臭氧浓度，所以臭氧发生器气源分为空气源、富氧源（现场制90%纯度氧气）、纯氧源（购买工业氧气或液态氧）三种。同时臭氧发生器在运行过程中会产生大量的热量，需要通过冷却水装置将热量带走，为了防止不合格冷却水对臭氧发生器造成污染及腐蚀，一般会配置板式换热装置，来保证臭氧发生器的长期稳定运行。
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