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伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM340D 用于长晶炉设备检漏

发布时间: 来源:伯东贸易(深圳)有限公司

浙江某 CVD 人造钻石制造商采用伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM340 对其 CVD 钻石生产设备长晶炉检漏, 客户采用负压法对 Seki 长晶炉设备真空腔和气体供应系统进行检漏, ....

浙江某 CVD 人造钻石制造商采用伯东 Pfeiffer  氦质谱检漏仪 ASM340  对其 CVD 钻石生产设备长晶炉检漏, 客户采用负压法对 Seki 长晶炉设备真空腔和气体供应系统进行检漏, 经过泄漏检测, 生产的人造钻石可以匹配甚至超过天然钻石的质量和特性!


氦质谱检漏仪 ASM340 技术参数:

型号

ASM340

ASM340 D

ASM340 I

对氦气的最小检检漏率

5E-13 Pa m3/s

5E-13 Pa m3/s

5E-13 Pa m3/s

检测模式

真空模式和吸枪模式

真空模式和吸枪模式

真空模式和吸枪模式

检测气体

4He, 3He, H2

4He, 3He, H2

4He, 3He, H2

启动时间 min

3

3

3

对氦气的抽气速度 l/s

2.5

2.5

2.5

进气口最大压力 hPa

25

25

5

前级抽速 m3/h

油泵 15

隔膜泵 3.4

不含前级泵

重量 kg

56

45

32

 

氦质谱检漏仪 ASM340 优点:

1. 前级泵配备旋片泵(油泵)Adixen Pascal 1015 I 抽速高达15 m3/h

2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 对氦气抽速 2.5 l/s

3. 氦质谱检漏仪 ASM 340 对氦气的最小检检漏率:

   真空模式:5E-13 Pa m3/s

   吸枪模式:5E-10 Pa m3/s 目前业界公认最小漏率

4. 移动式操作面板(有线、无线)

5. 集成SD卡, 方便资料处理

6. 抗破大气、抗震动, 降低由操作失误带来的风险性

7. 丰富的可选配件, 如吸枪、遥控器、小推车、旁路装置、标准漏孔等

8. 检测时间短

 

待检漏产品:

氦质谱检漏仪 CVD 钻石长晶炉检漏

 

长晶炉设备需要检漏:

在 CVD 过程中, 将一片薄的金刚石种子 ( 通常是天然的金刚石) 放置在密封室中, 加热到 800摄氏度左右. 然后通入富碳气体 ( 通常是甲烷 ) 和其他气体. 如果密封室或者气体供应系统有漏, 直接影响原子沉积, 导致无法形成钻石或质量不佳.

 

若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

上海伯东 : 罗先生                               台湾伯东 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
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