上海伯东参展 SemiCon China2023上海半导体展

SemiCon China 2023 伯东展位【E3,3369】
伯东企业（上海）有限公司作为德国 Pfeiffer 真空设备, 美国 inTEST 高低温冲击热流仪, 美国 KRi 离子源, 美国 HVA 高真空闸阀, 等国际进口真空品牌的代理商, 参展 SemiCon China 2023 上海半导体展！
上海伯东凭借多年真空经验, 在提供合适的产品同时更为您提供各类真空工艺的解决方案, 协助您优化工艺过程, 提高生产效率! 上海伯东期待您的莅临！
【参展时间】: 2023年6月29-7月1日
【地点】: 上海新国际博览中心
【伯东展位】: E3号馆, 3369 位置

在现场, 我们为您详解适用于半导体行业的各类产品！

德国 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM 390
专为半导体, 镀膜行业研发
符合 Semi S2 标准
大抽速, 干式, 方便移动

 

德国 Pfeiffer 大抽速涡轮分子泵 HiPace 1200-2800 IT
高抽速, 高气体吞吐量
对工艺沉积的抵抗力强
提供耐腐蚀型号

美国 KRi 大口径射频离子源
3层栅极设计, 栅极口径 38cm
提供离子动能 100-1200eV 宽束离子束, 离子束流 > 1000mA
满足 300 mm (12英寸)晶圆刻蚀
适用于离子刻蚀, 溅射沉积 


美国 inTEST 高低温冲击热流仪 ATS-710E
温度范围 °C: -75至+225 50Hz
防静电设计, 自动除霜
支持 Ethernet, IEEE-488, RS232

美国 Thermonics Process Chillers 超低温冰水机
提供 -80°C 低温冰水机和 -120°C 超低温冰水机
用于冷却工艺过程中的气体和液体
适用于半导体前端和后端各类工艺冷却

美国 HVA 超高真空闸阀 11000 系列
口径: DN 16 - 800 mm
极限压力: 高真空 1x10-9 mbar; 超高真空 1x10-10 mbar
 6寸, 8寸 真空插板阀广泛应用于半导体气体管路中!

美国 Gel-Pak 芯片包装盒
适用于储存和运输半导体精密器件, 光电器件和其他精密器件等

若您需要进一步的了解更多信息, 请参考以下联络方式
上海伯东: 罗先生