国产LED生产设备MOCVD亮相中国电子展

    两家LED和太阳能生产设备巨头今年二季度的财报相信会让国人暗生艳羡却又很不是滋味：VeecoInstruments2010年第二季度的营收达2.53亿美元，与2009年同期相比年增251.4%；Aixtron2010年第二季度的营收达1.918亿欧元，年增238%。

    正是固态照明产业和可再生能源产业的蓬勃发展让这两家分别位于美国和德国的企业赚得是盆满钵满，中国相关生产企业和资本在其中也可谓“贡献”良多，例如，有机构预计，2010年Aixtron和Veeco的MOCVD将有35%以上是卖到中国大陆。

    如何发展国产LED生产设备，降低生产成本，是关乎中国绿色节能产业健康发展的重大命题。

    在LED照明方面，中国的大功率特性衬底技术、加工稳定性以及对外延效率的提升率与国外相比，差距逐渐缩小，但是上游生产性外延设备一直主要依赖进口昂贵的国外产品。MOCVD等关键设备对LED产业发展具有举足轻重的作用，有识之士都呼吁中国相关部门要集中人才和资源进行重点开发，解决制造设备中的关键技术，掌握具有自主产权的核心技术，并尽早实现LED生产设备国产化量产。只有这样才会加快推动LED产业发展，降低LED相关产品的成本，实现健康、迅速地发展。

    可喜的是，即将在第76届中国电子展亮相的国产LED生产设备为人们点燃了希望，以青岛华旗科技和青岛赛瑞达为代表的一批中国设备制造商在关注太阳能电池市场的同时，正把目光投向LED、LCD、电力电子器件等市场应用领域，并保持住价格优势，在新一轮的竞争中争取更大的市场空间。他们或将成为改变中国乃至世界LED生产设备市场格局的重要力量。

    青岛华旗科技的一款适用于化合物半导体——LED/半导体照明等科研领域的外延及晶体生长MOCVD系统。该系统由生长室、气源、气体控制系统、真空系统、整机的计算机控制系统等组成，系统各工艺参数均可由计算机自动控制（windows界面）。该产品可满足2“多片晶圆，支持GaN/GaAs等薄膜工艺、采用电阻加热/感应加热的结构形式，生产能力为2英寸1、3、6片。另外，该公司还承担了部分国家863项目（如半导体白光照明GaN生长的HVPE设备等）。

    赛瑞达公司除了一系列太阳能专用设备之外，也开发了几款LED生产设备，包括LED专用扩散炉和专用合金炉。其LED专用扩散炉和专用合金炉关键件全部采用进口件，具有高可靠性和高抗干扰能力，具有可编程的升、降温功能，以及有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能。可存储九条工艺曲线，每条工艺曲线最多有九步，曲线间可以任意链接、重复。另外还具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置。赛瑞达可为客户提供斜滚式推拉舟系统，石英双杆推拉舟系统及SiC浆推拉舟系统的灵活选择。

    上游设备的成功本土化离不开下游外延芯片厂、LED封装厂、模块乃至灯具供应商、后端设备商的配合与支持。据悉，本届秋季中国电子展，汇集了真明丽、深圳市稳亮电子、李洲科技、宁波升谱电子、常州爱立德电子、台湾亿光电子、金台电子等众多大中小型LED企业，以及田中精机、昆山具良、日特机械工程、华胜科技、上海富荣电子等一大批后端生产设备商，并专门开辟了LED照明展区，为产业上下游的互动提供了良好的互动平台，有利于促成他们之间的合作。

    当然，就像有些专家指出的，MOCVD等关键装备的国产化也是一件体现国家意志的事情，建议国家大力地投入，全面地支持去做这件事，特别要注意工艺与设备的结合，要鼓励外延芯片厂商应用国产设备，同时要给予一定的资助。