石英砂滤料特别是高纯石英砂是半导体行业的主要塑封材料,它和环氧树脂、固化剂、各种添加剂等复合使用,可以节约封装成本;并且还可用作电子基板材料,用于制备单晶硅和多晶硅等。
近几年,国内外计算机技术发展非常迅速,EMC生产线从线宽5um(集成度16k)/3um(集成度64k)、2nm、1um技术一直发展到目前的0.25um、0.10um,要求石英砂向高纯度、低结晶度、低放射性含量、球形化方向发展。
球形石英砂是利用一定的加工工艺使石英砂的颗粒呈球形。由于球形颗粒的表面积最小,各向同性好,流动性好,与树脂搅拌均匀,树脂添加量小,石英砂的重量填充比可以达到90.5%因此可以减小塑封材料的热膨胀系数、导热系数、使其最大限度地接近单晶硅的热膨胀系数,从而提高塑封材料的使用性能,降低原材料成本。其次,球形石英砂的制备的塑封材料集中应力最小,应力只是角形粉的60%强度最高,因此利用球形粉封装材料用于电路芯片时,成品率高,运输、安装、使用过程中不易产生机械损伤。第三,球形粉的摩擦系数小,对模具的磨损小,可以延长模具的使用寿命达一倍,降低企业成本,提高经济效益。
根据集成电路的集成度确定使用球形石英砂,当集成度达到16M以上时,集成电路基本全部使用球形石英砂;250M时,集成电路的线宽为0.25um,1G集成度时,线宽0.18um。目前计算机PIV、PM处理器的CPU芯片,已经达到250M,1G的水平。这时使用的石英砂滤料为更高纯度、更低放射性的球形石英砂。
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