| 臭氧在温室大棚内的杀菌效果与臭氧发生器自身的机型、臭氧浓度、室内温湿度、光照、肥水管理、作物品种等诸多因素有关，故臭氧发生器的使用方法可根据蔬菜种类、生长期、病虫害种类与严重度以及气候的特点，进行适当调整。 通过XM系列温室臭氧发生器使用表明，湿度的提高及温度的降低可增强臭氧的消毒作用，在高湿度下微生物细胞膜变薄，易被臭氧破坏，可发挥更好的防治效果。应用臭氧的环境湿度应在60％以上，低于45％时臭氧对空气中的微生物几乎没有杀菌作用，湿度越高杀菌效果越好。
日本媒体报道，臭氧能有效防治暖棚中番茄、香瓜、黄瓜的恶霉病，并能去除茄子、蘑菇头、盆花等的霉杂菌及蚜虫，还能促进植株生长。臭氧水浸泡种子，可进行种子消毒。
使用臭氧时应避免操作人员长时间与臭氧接触，短时间接触臭氧不会对人体造成伤害。工作环境臭氧浓度低于0.1mg／kg时是安全的，但低于0.1mg／kg时对微生物没有杀灭作用。
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