低温等离子净化器采用双介质阻挡放电形式产生等离子体，所产生等离子体的密度是其他技术产生等离子体密度的1500倍，最初用于氟利昂类、哈隆类物质的分 解处理，后延伸至工业恶臭、异味、有毒有害气体处理。该技术节能、环保，应用范围广，所有化工生产环节产生的恶臭异味几乎都可以处理，并对二恶英有良好的分 解效果。
等离子体工业废气处理技术已研制出标准化废气治理设备，利用所产生的高能电子、自由基等活性粒子激活、电离、裂解工业废气中的各组成份，使之发生分 解，氧 化等一些列复杂的化学反应，再经过多级净化，从而消除各种污染源排放的异味、臭味污染物，使有毒有害气体达到低毒化、无毒化，保护人类生存环境。由于其对污染物分子的高效分 解且处理能耗低等特点，为工业废气的处理开辟了一条新的思路。
1、等离子体是一种聚集态物质，它有别于常识中的“固”、“液”、“气”三态物质，是物质的第四态，其所拥有的高能电子同空气中的分子碰撞时会发生一系列基元物化反应，并在反应过程中产生多种活性自由基和生态氧，即臭氧分 解而产生的原子氧。活性自由基可以有效地破坏各种细菌中的核酸，蛋白质，使其不能进行正常的代谢和生物合成，从而致其死亡；而生态氧能迅速将多种高分子异味气体分 解或还原为低分子无害物质；另外，借助等离子体中的离子与物体的凝并作用，可以对小至亚微米级的细微颗粒物进行有效的收集。
2、等离子空气净化器在工作时会产生臭氧，由臭氧分 解出生态氧，而臭氧是一种公认的高效空气杀菌剂，达到一定浓度时对人体也有害，不仅有臭味，也可能致癌。我国《室内空气质量标准》规定臭氧的浓度必须小于0.16mg／m3。由于臭氧的不稳定性，存在时间很短，因此可以做到既能持续杀死细菌，又使空气中的臭氧浓度保持在安全水平对人体无害。
低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。等离子光氧净化设备降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分 解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。（注：低温等离子体相对于高温等离子体而言，属于常温运行。）
等离子体反应区富含极高的物质，如高能电子、离子、自由基和激发态分子等，废气中的污染物质可与这些具有较高能量的物质发生反应，使污染物质在极短的时间内发生分 解，并发生后续的各种反应以达到讲解污染物的目的。与传统的电晕放电形势产生的低温等离子技术相比较，等离子体技术放电密度是电晕放电的1500倍，这就是传统低温等离子体技术治理工业废气99%以失败而告终的原因。
与目前国内常用的异味气体治理方法相比较，等离子体工业废气处理技术具有以下特点：
低温等离子体技术应用于恶臭气体治理，具有处理效果好，运行费用低廉、无二次污染、运行稳定、操作管理简便、即开即用等优点。
等离子光氧一体机的性能特点：
1、“低温等离子体”设备属高新科技产品，自动化程度高，工艺简洁，操作简单，方便.无需专人看管，遇故障自动停机警报。
2、节能：运行费用低廉是“低温等离子体”专利核心技术之一，处理5000m3/h臭气，耗电量仅1000W。
3、适应范围广：在高温350℃，低温-20℃的环境内，净化区均可运转，特别是在潮湿，甚至空气湿度饱和的环境下仍可正常运行。
4、设备使用寿命长：本设备由不锈钢材，铜材、环氧树脂等材料组成，抗氧 化性强，在酸性气体中耐腐蚀。使用寿命长达10年以上。
5、“低温等离子体”设备内使用电压在36伏以下，安全可靠，对人体不构成任何伤害。
6、“低温等离子体”设备组合性强：可以窜并联混合应用，在处理高浓度异味气体时能发挥明显优点。
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