光氧催化主要利用的是比较先进的光触媒技术，它主要是利用废气分子的裂解和分化，废气在超强的紫外线光束作用下，分子会发生形态的改变，由原来的大分子化合物降解成低分子的化合物，可以将原有废气当中的原子和电离子重新的进行组合，进而达到净化处理废气的效果和目的。UV光氧催化设备主要是用的高能电子电离、裂解有害气体的化学键能，从而破坏废气分子结构，达到净化目的。两种设备均可进行废气的净化处理，但光氧催化器主要用于处理臭气异味、有毒有害气体的处理。低温等离子净化器处理油漆喷涂烟气的效果比较好。
UV光氧催化设备简单来说就是运用产生的高能UV紫外线和臭氧对废气进行氧化还原反应，使其降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，以此达到净化除臭的目的。
其净化步骤分为三步：
内部安装的特制高能高臭氧的UV紫外线灯管会发出紫外线照射废气，以分裂二甲二硫、苯乙烯、苯、二硫化碳此类工业废气的分子链结构，使这些有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在散发出的高能紫外线的照射下，降解为低分子化合物，如CO2、H2O等。
二步高能的UV紫外线光束可以把空气中存在的氧分子进行分 解，从而产生游离氧，游离氧由于自身携带不平衡的正负电子，会与氧分子进行结合，从而产生臭氧。臭氧对有机物的氧化作用极强，所以臭氧对工业废气中的异味清除有着非常明显的效果。
第三步UV光氧设备可以分 解工业废气中细菌的分子键，破坏细菌的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应，达到净化及杀灭细菌的目的。
经过以上步骤UV光氧设备便可以取得相当理想的净化除臭效果。
低温等离子光氧一体机采用双介质阻挡放电形式产生等离子体，所产生等离子体的密度是其他技术产生等离子体密度的1500倍，用于氟利昂类、隆类物质的分 解处理，后延伸至工业恶臭、异味、有毒有害气体处理。
该技术节能、环保，应用范围广，所有化工生产环节产生的恶臭异味几乎都可以处理，并对二恶英有良好的分 解效果。
等离子体工业废气处理技术已研制出标准化废气治理设备，利用所产生的高能电子、自由基等活性粒子激活、电离、裂解工业废气中的各组成份，使之发生分 解，氧化等一些列复杂的化学反应，再经过多级净化，从而消除各种污染源排放的异味、臭味污染物，使有毒有害气体达到低毒化，保护人类生存环境。
由于其对污染物分子的分 解且处理能耗低等特点，为工业废气的处理开辟了一条新的思路。
UV光氧废气净化设备主要用作于食品、医药、化工、污水、垃圾、塑胶、喷涂、造纸、轮胎等生产环节挥发或渗漏出有害废气的净化及臭味的消除。光化学及光催化氧化法是目前研究较多的一项氧化技术。所谓光催化反应，就是在光的作用下进行的化学反应。光化学反应需要分子吸收特定波长的电磁辐射，受激产生分子激发态，然后会发生化学反应生成新的物质，或者变成引发热反应的中间化学产物。光化学反应的活化能来源于光子的能量，在太阳能的利用中光电转化以及光化学转化一直是十分活跃的研究领域。
光催化氧化技术利用光激发氧化将O2、H2O2等氧化剂与光辐射相结合。所用光主要为紫外光，包括uv-H2O2、uv-O2等工艺，可以用于处理污水中CHCl3、CCl4、多氯联苯等难降解物质。另外，在有紫外光的Fenton体系中，紫外光与铁离子之间存在着协同效应，使H2O2分 解产生羟基自由基的速率大大加快，促进有机物的氧化去除。
大自然具有十分强大的自我修复功能， 例如排放在大气中的废气物质，经过一段时间废气物质会慢慢被分 解掉，其中主要的过程是发生了光化学反应。废气物质通过吸收光子或其他粒子的能量，使得化学键断裂，形成游离态的原子，再经过一系列的氧化还原等反应，生成 H 2 O 和 CO 2 等简单物质。
经过长期研究发现，当化学物质通过吸收能量(如热能、光子能量等) ，可以使自身的化学性质变得活跃甚至被裂解。当吸收的能量大于化学键键能，即可使得化学键断裂，形成游离的带有能量的原子或基团。在波长范围154nm-184.9nm(1200KJ/mol-600KJ/mol)高能紫外线的作用下，一方面空气中的氧被裂解，然后组合产生臭氧；另一方面将污染物化学键断裂，使之形成游离态的原子或基团；同时产生的臭氧参与到反应过程中，使废气终被裂解，氧化成简单的稳定的化合物，如CO2、H2O、N2等。
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