干式真空泵 A4X 系列
上海伯东德国 Pfeiffer 干式真空泵 A4X 系列适合半导体、光伏等腐蚀性强的行业，干式真空泵抽速从 160 到 1,700 m3/h 满足不同需求，特殊的耐腐蚀工艺设计保证干式真空泵 A4X 系列使用寿命大幅提高，有效降低了企业成本。
干式真空泵 A4X 系列核心优势：
1.耐腐蚀设计，使用寿命长
2.通过 Semi S2-0712 和 UL 61010 标准
3.特殊设计，避免真空泵发生爆裂或可冷凝物沉积
4.配置氮气吹扫阀，耐粉尘
干式真空泵 A4X 系列应用：
1.半导体：（蚀刻、PECVD、SACVD、ALD 等）
2.涂料行业：光伏和 LED
干式真空泵 A4X 系列技术参数：
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型号
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A 124 H
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A 604 H
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A 1204 H
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A 204 H
A 204 X
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A 804 H
A 804 X
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A 1504 H
A 1504 X
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A 1804 H
A 1804 X
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抽速 m3/h
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110
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560
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1150
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160
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700
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1200
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1700
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极限真空
(氮气吹扫阀关闭) hPa
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2X10-2
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2X10-4
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9X10-4
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5X10-2
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2X10-3
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2X10-3
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2X10-3
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极限真空
(氮气吹扫阀50 SLM) hPa
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5X10-2
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6X10-3
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6X10-3
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2X10-1
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9X10-3
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9X10-3
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9X10-3
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全转速最大进气气流 SLM
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80
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60
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55
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150
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100
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100
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70
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最大功率 KW
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1.5
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1.9
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2.3
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1.8
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2.2
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2.6
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2.6
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最大排气压力hPa
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1200
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1200
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1200
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1200
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1200
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1200
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1200
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进气口 ISO-KF
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DN 50
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DN 100
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DN 160
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DN 50
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DN 100
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DN 160
|
DN 160
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重量 kg
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250
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370
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530
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260
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380
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540
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540
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干式真空泵 A4X 系列抽速：
