全磁浮涡轮分子泵 ATH 500 M，对氮气的抽速最高可达 550 l/s，紧凑集成的全磁浮涡轮分子泵控制器。全磁浮涡轮分子泵可以安装在任何方向。CE标志和通过无铅认证。全磁浮涡轮分子泵核心科技是五轴控制全磁浮轴承，免维护，无需润滑，保证全磁浮涡轮分子泵内部绝对清洁无油。全磁浮轴承保证了转子的稳定性，在高速运转过程中无摩擦，无磨损，低噪音低振动，可延长分子泵的使用寿命。
全磁浮涡轮分子泵 ATH 500 M 多种配置可选 满足不同需要：
1.两种接口：DN 100/160
2.三种密封方式：ISO-F、ISO-K、CF-F
3.两种冷却方式：风冷、水冷
4.另有可远程控制和可加热款（抗腐蚀MT）供客户选择
全磁浮涡轮分子泵 ATH 500 M 技术参数：
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轴承
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五轴控制全磁浮轴承
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转速
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50000 min-1
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对氮气的压缩比
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> 2 · 107
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最大进气压力N2
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2.6 hPa
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对氮气的抽速
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350 l/s--550 l/s
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启动时间
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< 2 min
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极限真空度
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< 1 · 10-8 hPa
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重量
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17 kg-18kg
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全磁浮涡轮分子泵 ATH 500 M 对不同气体的抽速：
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全磁浮涡轮分子泵 ATH 500 M 尺寸图：
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全磁浮涡轮分子泵 ATH 500 M 目前在售型号：
磁悬浮分子泵 ATH 500 M,DN 100 ISO-K,遥控,风冷
磁悬浮分子泵 ATH 500 M,DN 100 ISO-K,遥控,水冷
磁悬浮分子泵 ATH 500 M,DN 100 CF-F,遥控,风冷
磁悬浮分子泵 ATH 500 M,DN 100 CF-F,遥控,水冷
磁悬浮分子泵 ATH 500 M,DN 100 ISO-F,遥控,风冷
磁悬浮分子泵 ATH 500 M,DN 100 ISO-F,遥控,水冷
磁悬浮分子泵 ATH 500 M,DN 160 ISO-K,遥控,风冷
磁悬浮分子泵 ATH 500 M,DN 160 ISO-K,遥控,水冷
磁悬浮分子泵 ATH 500 M,DN 160 CF-F,遥控,风冷
磁悬浮分子泵 ATH 500 M,DN 160 CF-F,遥控,水冷
磁悬浮分子泵 ATH 500 M,DN 160 ISO-F,遥控,风冷
磁悬浮分子泵 ATH 500 M,DN 160 ISO-F,遥控,水冷
磁悬浮分子泵 ATH 500 M,DN 100 ISO-K,Profibus,风冷
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