全磁浮涡轮分子泵 ATH 1600 MT,对氮气的抽速最高可达 1360 l/s,水冷,可加热抗腐蚀。外部分子泵驱动电路。全磁浮涡轮分子泵可以安装在任何方向。CE标志和通过无铅认证。全磁浮涡轮分子泵核心科技是五轴控制全磁浮轴承,免维护,无需润滑,保证分子泵内部绝对清洁无油。全磁浮轴承保证了转子的稳定性,在高速运转过程中无摩擦,无磨损,低噪音低振动,可延长分子泵的使用寿命。
全磁浮涡轮分子泵 ATH 1600 MT 多种配置可选 满足不同需要:
1.两种接口:DN 200/250
2.两种密封方式:ISO-F/CF-F
3.另有可远程控制款供客户选择
全磁浮涡轮分子泵 ATH 1600 MT 技术参数:
轴承
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五轴控制全磁浮轴承
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转速
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39000 min-1
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对氮气的压缩比
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> 1 · 10 8
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最大进气压力N2
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2.2 hPa
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对氮气的抽速
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1360 l/s--1600 l/s
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启动时间
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< 6 min
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极限真空度
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< 6 · 10-9 hPa
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重量
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34 (分子泵) + 8(分子泵电源控制器) kg
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全磁浮涡轮分子泵 ATH 1600 MT 对不同气体的抽速:
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全磁浮涡轮分子泵 ATH 1600 MT 尺寸图: