FSTZH系列基础型组合探针台，模块化设计，系统每个模块都可增可减，可以增加光路等满足不同测试； 优点：超高性价比，模块化设计；缺点：台体行程较小，且系统集成度略差。
>主要特点
1. 结构紧凑，功能实用，高性价比，
2. 探针台整体位移分辨率10μm，样品XYZR四维调节
3. 可用于12英寸以内样品测试
4.1微米以上电极/ PAD使用
5. 精密丝杠/ 燕尾传动结构，线性移动，无回程差设计
6. 漏电流精度： 10p A/ 100fa（屏蔽箱内）
7. 模块化设计，可以根据应用增加和去除相应模块
8. 多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、 MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等；