材质:疏水 PTFE 滤芯 + 316L 电解抛光外壳,耐绝大多数酸碱、腐蚀性工艺气体 精度:0.0015μm,分 Silver(出厂预清洁,新机快速投产)/Bronze 标准款 适用:氮气 N?、CDA 压缩干燥空气、各类惰性 / 轻度腐蚀半导体气体 优势:低压损、大通量、体积小巧;出厂预清洁款可大幅缩短吹扫时间 接口:1/4"、3/8"、1/2" VCR 垫片密封、Swagelok 卡套、对焊 Tube 流量:标准款最高 300slpm,MAX1000 大流量型适配厂区总管路Entegris