滤芯:疏水 PTFE 梯度滤膜,外壳 316L EP 电解抛光不锈钢 过滤精度:0.0015μm,9 个对数颗粒拦截(99.9999999%) 适配燃气:N?、CDA 压缩空气、Ar、He、温和腐蚀性工艺燃气(HCl、SiCl?等) 工况参数
-
最高压力:37bar;耐温≤120℃
-
流量覆盖:标准款 300slpm,MAX1000 大流量款 1000slpm 主管路使用 接口:1/4"/3/8"/1/2" VCR 垫片密封、卡套、对焊 Tube 优势:低压损、出厂预清洁(Silver 款),吹扫时间大幅缩短,无金属离子析出 局限:不可 400℃高温工况,禁高温氟气、熔融碱金属