产品介绍
立2011年新推出了SU9000超高分辨冷场发射扫描电镜，达到扫描电镜世界最高二次电子分辨率0.4nm和STEM分辨率0.34nm。日立SU9000采取了全新改进的真空系统和电子光学系统，不仅分辨率性能明显提升，而且作为一款冷场发射扫描电镜甚至不需要传统意义上的Flashing操作，可以高效率的快速获取样品超高分辨扫描电镜图像。
特点：
1. 新型电子光学系统设计达到扫描电镜世界最高分辨率：二次电子0.4nm（30KV），STEM 0.34nm（30KV）。
2. Hitachi专利设计的E×B系统，可以自由控制SE和BSE检测信号。
3. 全新真空技术设计使得SU9000冷场发射电子束具有超稳定和高亮度特点。
4. 全新物镜设计显著提高低加速电压条件下的图像分辨率。
5. STEM的明场像能够调整信号检测角度，明场像、暗场像和二次电子图像可以同时显示并拍摄照片。
6. 与FIB兼容的侧插样品杆提高更换样品效率和高倍率图像观察效率。
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项目
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技术指标
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二次电子分辨率
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0.4nm （加速电压30kV，放大倍率80万倍）
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1.2nm （加速电压1kV，放大倍率25万倍）
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STEM分辨率
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0.34nm（加速电压30kV，晶格象）
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观测倍率
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底片输出
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显示器输出
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LM模式
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80~10,000x
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220~25,000x
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HM模式
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800~3,000,000x
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2,200~8,000,000x
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样品台
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侧插式样品杆
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样品移动行程
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X
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±4.0mm
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Y
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±2.0mm
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Z
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±0.3mm
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T
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±40度
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标准样品台
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平面样品台：5.0mm×9.5mm×3.5mmH
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截面样品台：2.0mm×6.0mm×5.0mmH
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专用样品台
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截面样品台：2.0mm×12.0mm×6.0mmH
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双倾截面样品台：0.8mm×8.5mm×3.5mmH
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信号检测器
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二次电子探测器
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TOP 探测器（选配）
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BF/DF 双STEM探测器（选配）
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