GDQ-J角通气动挡板阀
结构尺寸示意图
一、型号与分类说明
标准型号 GDQ-J (B)/KF/CF
GDQ：气动高真空挡板阀
J：角通式（主流 90° 直角结构）；S：三通带预抽口型
B：波纹管轴封（超高真空专用，无外漏）；无 B 为橡胶轴封（经济型）
KF/CF：法兰标准（KF 快拆法兰、CF 刀口超高真空法兰）
两种主流轴封结构
橡胶轴封 GDQ-J：成本低，适用 10?~1.3×10?? Pa，常规真空设备；
波纹管轴封 GDQ-JB：金属波纹管隔离大气，漏率极低，适用 10?~1.3×10?? Pa，可烘烤除气，用于超高真空、半导体、镀膜。
二、工作原理
以洁净压缩空气为动力，配套二位五通电磁阀切换气路，推动气缸活塞上下运动，带动阀杆与阀板升降；阀板下压压紧氟橡胶密封面，切断真空管路气流；通气抬升阀板，管路导通。
常闭型 NC（标配）：内置复位弹簧，失电 / 失气自动关阀，保护真空腔体不返大气；
常开型 NO：双作用气缸，断气保持开启，需持续供气维持关闭。
三、核心技术参数
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项目    橡胶轴封 GDQ-J    波纹管轴封 GDQ-JB
适用真空区间    1×10? ~ 1.3×10?? Pa    1×10? ~ 1.3×10?? Pa
氦质谱漏率    ≤1.3×10?? Pa·L/s    ≤1.3×10?? Pa·L/s
公称通径    DN10/16/25/40/50/63/80/100/160/200/300    DN10~DN300
气源压力    0.4~0.8MPa 干燥洁净压缩空气    0.4~0.8MPa
介质温度    -25℃ ~ +120℃（NBR）；-25~150℃（FKM 氟胶）    -25~150℃，可 150℃高温烘烤除气
电源电压    DC24V（常用）/AC220V，可选防爆线圈    DC24V/AC220V 防爆可选
启闭速度    ≤1 秒    ≤1 秒
安装方式    任意角度安装    任意角度安装
适用介质    干燥空气、惰性气体、无腐蚀性工艺气体    高纯气体、洁净真空环境
标准零部件材质
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零件    标配材质    说明
阀体 / 阀盖 / 阀板    304 不锈钢    一体锻造，镜面抛光无死角，可耐烘烤
轴封    NBR 丁腈橡胶 / 316L 焊接波纹管    波纹管款完全隔绝大气渗漏
密封垫    FKM 氟橡胶    耐高温、耐少量有机溶剂
气缸    铝合金阳极氧化    防腐轻便，可选不锈钢气缸
阀杆    304 不锈钢    抛光耐磨，无油污污染真空腔
四、产品核心优势
安全自保设计
常闭款内置强力弹簧，断电、断压缩空气瞬间自动关阀，防止大气倒灌损坏真空腔体、靶材、工件。
超高真空密封性能
波纹管轴封款无动态摩擦漏气点，满足科研、半导体超高真空严苛漏率要求；阀体流道光滑，无气体滞留死角。
自动化适配性强
出厂标配电磁阀，可选磁性开关输出阀位开 / 关信号，接入 PLC 实现远程自动控制；防爆电磁阀可用于易燃易爆工艺气体工况。
洁净耐高温
全不锈钢无油润滑结构，可整体高温烘烤除气，符合半导体、光学镀膜高洁净标准。
维护便捷
模块化分体结构，气缸与阀体可拆分；KF 快拆法兰无需焊接，拆装检修快速，密封件更换简单。
五、典型应用场景
真空镀膜行业：磁控溅射、光学镀膜、蒸发镀膜机腔体隔离阀；
热处理工业：真空淬火炉、钎焊炉、退火炉高低真空管路切断；
半导体 / 光伏：晶圆刻蚀、电池片蒸镀超高真空隔离；
科研实验室：电子显微镜、离子束设备、真空腔体通断；
冻干制药：真空冷冻干燥机主路切断阀；
锂电池行业：真空烘烤、注液设备真空管路自控。
六、选型订货要点
通径 DN 与法兰标准：KF 快拆 / CF 刀口 / ISO 标准法兰；
轴封类型：常规工况选橡胶轴封，超高真空 / 烘烤工况选波纹管轴封；
工作模式：常闭（断气关，推荐）/ 常开（断气保持开）；
电磁阀配置：DC24V 常规，易燃易爆环境选 ExdIICT6 防爆线圈；
附加配件：阀位磁性反馈开关、手动应急手轮、气源过滤减压阀；
介质温度 / 腐蚀性：高温、弱腐蚀介质选用 FKM 氟橡胶密封。
七、安装使用注意事项
?? 气源必须加装油水过滤减压阀，水汽、油污会腐蚀气缸与真空密封；
?? 安装前彻底吹扫管路，金属碎屑、粉尘会划伤阀板密封面，造成永久漏气；
?? 波纹管款烘烤温度不超过 150℃，避免波纹管疲劳开裂；
?? 长期停机前将阀门完全关闭，防止大气水汽渗入腔体；
?? 定期检测漏率，氟橡胶密封件 1~2 年更换一次，延长阀门使用寿命。